A recuperação e a purificação do hélio são um campo com importantes perspectivas de aplicação. O hélio é um gás raro importante, com características como inércia e boa travessa. É amplamente utilizado em várias indústrias, como pesquisa médica, científica, aeroespacial e assim por diante. No entanto, o fornecimento de hélio é limitado e os recursos globais estão gradualmente diminuindo, tornando a recuperação e a purificação do hélio particularmente importantes.

A aplicação de compressores de hélio1. Usado principalmente em semicondutores, servindo como um gás protetor para sistemas de vácuo de evaporação, pulverização e implantação de íons no equipamento de processo front-end. As reações químicas que ocorrem durante o processamento de semicondutores geralmente são baseadas em gases ou líquidos

No sistema de recuperação e purificação do hélio, o compressor é um dos equipamentos muito importantes, e sua seleção deve ser razoavelmente projetada e ajustada com base nas propriedades e requisitos do hélio para garantir a qualidade e a segurança do hélio. Aqui estão algumas sugestões para escolher um compressor